硅平面工艺中高温氧化生成的非本征无定性二氧化硅对()、()、砷(As)、锑(Sb)等元素具有()作用。

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填空题
硅平面工艺中高温氧化生成的非本征无定性二氧化硅对()、()、砷(As)、锑(Sb)等元素具有()作用。
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