提高膜层聚集密度工艺有()。A、提高离子源功率B、降低温度C、降低真空度D、提高温度

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提高膜层聚集密度工艺有()。

  • A、提高离子源功率
  • B、降低温度
  • C、降低真空度
  • D、提高温度
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